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顕微領域力学試験 ナノインデンテーション
ナノインデンテーションとは
ナノインデンテーション
平らな試料表面に、ピラミッド型の圧子を押込み、ナノオーダーの高精度で変位、加重を制御、計測します。取得データから、極小領域での試料の硬度、弾性率等の機械特性を導出することができます。
弊社取り扱いの製品では、圧子の形状や動作を変えることで、圧縮、引張り、引掻き等様々な試験にも使用できます。
Indentation
Compression
Scratching
Tensile
特徴
- 高精度な荷重・変位制御
- 測定部を観察しながらのリアルタイム (In-situ) 試験、データ取得
- 圧縮、押込み、引張り、引掻き、疲労など多彩な試験
- 高荷重試験、長時間試験でも安定した測定
- 電圧印加、加熱しながらの応力試験
用途
- 鉄・金属
- 薄膜
- セラミックス
- ナノファイバー・ナノチューブ
システム構成例
システム一覧
5軸稼動 単体機
ナノオーダーでの高精度の機械的特性試験が可能です。光学顕微鏡が付属し、観察しながらの試験も可能です。
3軸稼動 SEM内据付けモデル
装置をSEM内に取り付け、In-situ(その場観察)機械的試験が可能です。高荷重・衝撃試験など、ダイナミックな試験が可能です。
5軸稼動 SEM内据付けモデル
装置をSEM内に取り付け、In-situ(その場観察)機械的試験が可能です。ステージが5軸に稼動し、様々な方向から自由度の高い試験が行えます。
