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結晶欠陥検出装置 ラマン測定装置・歪シリコン測定装置

ラマン測定装置・歪シリコン測定装置とは

ラマンスペクトルの概念図

ラマン測定装置とは、物質に光を照射した際に、物質の散乱光に入射光とは異なる波長の光(ラマン錯乱:RamanScattering)を測定し、その分光情報を基に結晶化の程度や結晶格子の歪み、シリコン基板の応力測定を、顕微サンプル室を標準装備することで高精度な測定を実現しています。高性能顕微サンプル室を装備しており高精度測定を実現。波数分解能、空間分解能、短波長励起ラマン、高波長励起ラマン、低波数ラマン、歪シリコン応力など測定対象に応じた各種モデルをご用意しております。

特徴

  • 高性能分光システムで数多くの実績
  • 低周波領域、深赤外領域の測定に適した高性能機をラインアップ
  • 高性能顕微サンプル室RSM800を標準装備
  • 数分解能、空間分解能、励起波長の範囲、低周波ラマン性能に優れたモデルをラインナップ

製品ラインナップ

分光器にトリプルスペクトログラフを搭載したJUPITERと、シングルスペクトログラフを用いたMARSの二種類を基に赤外、紫外などの波長性能を向上させたモデルをラインナップしています。

標準モデル JUPITER

標準モデル JUPITER
  • トリプルモノクロメータを装備
  • 低波数領域のラマン測定や、深紫外領域をはじめ特殊な波長のためにレーザ光除去フィルタが用意されていない励起レーザでのラマン測定に最適
  • JUPITER-PDPXモデルでは低波数領域の限界測定にチャレンジした顕微ラマン測定装置でレーザ除去フィルタでは得られない優れた性能を発揮

標準モデル MARS

標準モデル MARS
  • シングルラマン測定装置
  • 光学フィルタにより迷光除去性能を確保
  • 高性能可変コンフォーカル機構を装備し高倍率と広視野を両立させた観察系
  • 汎用型顕微ラマン測定装置では得られない測定結果

DEEP UVラマン測定 JUPITER-DUV

DEEP UVラマン測定 JUPITER-DUV
  • 244nmや266nmの深紫外レーザを用いたラマン装置
  • 短波長では試料への浸入長が浅くなるため主に表面分析に最適
  • トリプルモノクロメータ装備
  • スペクトログラフの焦点距離を選択することで深紫外領域での波数分解能の低下を防止

顕微赤外ラマン測定 MARS-IR

顕微赤外ラマン測定 MARS-IR
  • 1064nm励起レーザを用いた顕微ラマン装置
  • 蛍光除去対策に効果を発揮
  • 可視域から赤外ラマンの測定波長範囲まで回折限界以下に色収差を補正
  • 赤外測定であることを意識せず可視光による試料合わせで顕微赤外ラマン測定を実行可能
  • 赤外マルチチャネルディテクタやノイズ除去に優れた効果を発揮する測定法などにより優れたS/N比を実現

歪シリコン測定 SRM

歪シリコン測定 SRM
  • 高い波数分解能と波数の安定性
  • 専用の焦点距離2000mmを誇る高分解能スペクトログラフを装備
  • 波長補正機構
  • 非常に高い波長精度
  • 50μmまたは100μm線分を500ポイントのスペクトルとして同時に測定できるライン測定機能

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