西華デジタルイメージ > 半導体関連機器 > サファイアウエハ

サファイアウエハ

サファイアウエハとは

サファイアウエハ

サファイアウエハは、自然界では宝石として存在が知られている酸化アルミニウム(Al2O3)の結晶体で、人工的に不純物を低減して成長させた高純度単結晶サファイアを基にしたウエハです。高温安定性、熱膨張率、化学安定性の優位性があることから特にLED用の基板として優れた特性を有しています。西華デジタルイメージの提供するサファイアウエハは、LEDの競争の激しい市場で、お客様にとっての優位性の獲得に貢献いたします。
 成長した結晶の内部応力を低減し、ウェーハの形状を強化し、お客様の現在のニーズと市場の傾向を満たす独自の洗浄技術を開発することで、新しい技術を開発し、改善された最新のウエハを提供いたします。歩留まり向上、LEDの輝度向上、波長分布の狭小化に貢献します。高性能LEDの大量製造にはサファイア基盤が必須となっており、98%以上のLEDがサファイアを基に製造されております。サファイア材は物理的、化学的に優れた特性によって様々なハイテク分野に欠かせません。
6、8、10インチや超低転移ウエハなど各種ラインナップを取り揃えております。

特徴

  • 高性能分光システムで数多くの実績
  • 研究開発用のスタンダード機から、波長スキャン機能を持つ複合機まで多彩なラインナップ
  • 面観察で欠陥検出可能
  • 顕微観察像を組み合わせる事で、ウエハ全面の欠陥分布を表示可能
  • カラー測定(カラーフォトルミネッセンス画像)に対応
  • ユーザーニーズに合わせた形で柔軟なシステム構成に対応

アプリケーション

LEDの輝度向上
  • 高輝度LED
  • マイクロLED
  • RFIC
  • 高機能電化製品

サファイア仕様例

組成 Al2O3
結晶成長法 キロプロス法
結晶構造 6角 a = b = 4.77 A c = 13.04 A
融点 2050℃
線膨張係数 6,7 x 10-6 / °C parallel to С axis
5.0 x 10-6 / °C perpendicular to С axis
熱伝導率 46,06 W/(mK) (0°C)
密度 3,98 g/cm3
硬度 Mohs: 9
Knoop: 1900 parallel to С axis
2200 perpendicular to С axis
抗張力 400 MPa (25°C) 275 MPa (500°C) 345 MPa (1000°C)
曲げ強度 450-895 MPa
圧縮応力 2,0 GPa
ヤング率 345 GPa
誘電率 9,3 (103 - 109 Hz, 25°C) perpendicular to С axis
11,5 (103 - 109 Hz, 25°C) parallel to С axis
比抵抗 1016 Оhm·сm (25°C)
1011 Оhm·сm (500°C)
106 Оhm·сm (1000°C)

関連製品のご紹介