電子顕微鏡用周辺機器

FemtoTools FT-I04

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  • マテリアル,繊維・製紙,航空・宇宙,ナノインデンター,DIC
メーカー名:FemtoTools
電子顕微鏡用周辺機器『真の変位制御』を実現したナノインデンター

FemtoTools FT-I04

スイスFemtoTools社は、圧子一体型のMEMS荷重センサーとピエゾアクチュエーターを用いた超高精度ナノインデンターのパイオニアです。完全独立した荷重、変位制御機構は、従来方式では不可能であった『真の変位制御』を可能にし、材料評価の新たな扉を開きます。

システム構成例

システム構成例

PC(制御ソフトウェア)、コントローラー、ジョイスティック、MEMS荷重センサー、等

製品特徴

  • 変位ノイズフロア 50pm@10Hzの『真の変位制御機構』,カートリッジ式の圧子一体型MEMS荷重センサー,広領域・高速マッピング機能,光学顕微鏡装備,オプション:加熱、スクラッチ(2軸MEMS機構)
製品特徴

主な仕様

  • 変位ノイズフロア:50pm@10Hz以下(デジタル0.05pm),荷重ノイズフロア:500pN@10Hz以下(デジタル0.5pN),最大荷重:200mN,ステージ:可動域130x130㎜、ノイズフロア1nm@10Hz,光学顕微鏡:5-100倍、5Mピクセルカメラ,CSM試験(500Hz)
主な仕様
主な仕様
主な仕様

アプリケーション

  • 金属、セラミクス、複合材料,コーティング(スクラッチ試験),MEMSセンサー,電池,バイオ、再生医療

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