電子顕微鏡用周辺機器
FemtoTools FT-I04
- マテリアル,繊維・製紙,航空・宇宙,ナノインデンター,DIC
| メーカー名： | FemtoTools |
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| 電子顕微鏡用周辺機器 | 『真の変位制御』を実現したナノインデンター |
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FemtoTools FT-I04
スイスFemtoTools社は、圧子一体型のMEMS荷重センサーとピエゾアクチュエーターを用いた超高精度ナノインデンターのパイオニアです。完全独立した荷重、変位制御機構は、従来方式では不可能であった『真の変位制御』を可能にし、材料評価の新たな扉を開きます。
システム構成例
PC（制御ソフトウェア）、コントローラー、ジョイスティック、MEMS荷重センサー、等
製品特徴
- 変位ノイズフロア 50pm@10Hzの『真の変位制御機構』,カートリッジ式の圧子一体型MEMS荷重センサー,広領域・高速マッピング機能,光学顕微鏡装備,オプション：加熱、スクラッチ（2軸MEMS機構）
主な仕様
- 変位ノイズフロア：50pm@10Hz以下（デジタル0.05pm）,荷重ノイズフロア：500pN@10Hz以下（デジタル0.5pN）,最大荷重：200mN,ステージ：可動域130x130?、ノイズフロア1nm@10Hz,光学顕微鏡：5-100倍、5Mピクセルカメラ,CSM試験（500Hz）
アプリケーション
- 金属、セラミクス、複合材料,コーティング（スクラッチ試験）,MEMSセンサー,電池,バイオ、再生医療
