電子顕微鏡用周辺機器
FemtoTools NMT-03
- マテリアル,繊維・製紙,航空・宇宙,ナノインデンター,DIC
| メーカー名： | FemtoTools |
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| 電子顕微鏡用周辺機器 | 試験の自由度が高い複数軸SEMインデンター ※本製品の新規お取り扱いは終了いたしました。 |
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FemtoTools NMT-03
SEMに取り付け、マイクロ～ナノスケール領域で、圧縮、押込み、曲げ、引張り、引掻きなど、様々な機械特性試験とデータ取得を、リアルタイムで行えます。5軸サンプルステージや各種プローブで、非常に高精度で多彩な、ナノ領域でのメカニカル試験が可能です。電気特性試験も行えます。
※本製品の新規お取り扱いは終了いたしました。
製品特徴
- SEM/FIB内 定量的ナノメカニカル試験, 荷重センシング範囲 1nN ～ 200mN (8 order of magnitude), 変位センシング範囲 10pm ～ 21mm (9 order of magnitude), サンプルアライメント用 5-軸(X/ Y/ Z rotation tilt)クローズドループ制御ステージ, SEM/FIBで最大限の分解能を得られるワーキングディスタンスでの計測 (最小4mm) (同時にFIBによるミリングとデポジションも可能), 変位、荷重両方で制御可能な、幅広いナノメカニカル試験 ― 圧縮、引張り、曲げ、せん断、繰返し、折れ等, 5軸全てにポジションエンコード※を有し、 大量サンプルのテスト、サンプルのプロパティマップのための自動試験が可能に (※rotation/tiltはオプション), 付属の電気試験モジュールで、ナノ構造体の、機械的/電気的同時試験が可能 (サンプルホルダーには 6個の電極を装備), 電子線によるチャージを減少させる導電性の荷重感知プローブ, メカニカル試験、他のSEM分析(EDX、EBSD等) 、FIBによるデポジション・ミリングのコリレーションが可能, サンプルステージをつけたまま、SEM/FIB装置への簡単なセッティング、取り外しが可能, 独自のモジュールデザイン(4 種のセンサーヘッド、7種のサンプルベース) により、様々なサンプルや、SEM/FIB内のスペースに適応可能, ほとんどのフルサイズのSEM/FIB、光学顕微鏡にセッティング可能
マイクロスキャフォールドの圧縮試験
3D 金属製ナノピラーの面内方向ナノメカニカル試験
MEMS / NEMSの面内/外方向ナノメカニカル試験
製品仕様
- 荷重センシング
- 最大荷重： 200mN 荷重分解能： ＜1nN 計測周波数：最大96kHz
- 変位センシング Coarse
- 計測範囲： 21mm 変位分解能： 1nm 計測レート：最大：50Hz
- 変位センシング Fine
- 計測範囲： 25um 変位分解能： 0.05nm 計測レート：最大96kHz
- 5軸センサー サンプルアライメント
- X, Y, Z クローズドループポジショニング (範囲：21 x 12 x 12mm 、分解能1nm) クローズドループ ティルト・ローテーションステージ (各90度・360度、分解能35マイクロ度)
- 荷重感知ティップオプション
- Flat punch (サイズ：50 x 50 um) Tungsten tip (先端半径：＜100nm, ＜2um) Spherical tips (半径：250um or 50u) Do-it-yourself カスタムオプション
- 本体サイズ
- Length=100mm x Width=71mm x High=35mm
