アクセサリ

Alemnis アクセサリ

次のアクセサリーは、Alemnis Standard Assembly (ASA) と組合せて使用できます。
ご不明な点はお問い合せください。

標準エンクロージャ STANDARD ENCLOSURE (ENC)

ASAを光学顕微鏡と組み合せて大気中で使用したり、安全委に保管したりするための筐体

光学顕微鏡 Optical Microscope (OPT-MIC)

光学顕微鏡は、次の仕様で非常に高品質のイメージングを提供します。
  • 視野:0.8×0.6mm
  • ワーキングディスタンス:28mm
  • 同軸調整照明
  • USB3 カメラ:1/3”
  • マニュアル フォーカス:+/- 12.5 mm以上
  • ケーブル、電源
  • マウント:ASAフレームを取付可能
  • ソフトウェア:AMICS
    機能をアップグレードして、圧子とサンプルの位置合わせプロセスを容易にできます。
  • 画像取り込みソフト付属

※真空中での使用に対応していないため、大気中でのEx-situアプリケーション (バイオインデンターなど)にのみ使用できます。

一体型光学顕微鏡 Integrated Microscope (IMI)

インデンテーションヘッドに取り付けて、システムをSEMで使用しない場合でも、圧子とサンプルの位置合わせを簡単に行うことができます。
  • 視野:1.6×1.2mm
  • ワーキングディスタンス:17mm(電動フォーカス)
  • 同軸照明
  • USB2カメラ:1600×1200ピクセル
  • ソフトウェア:AMICS
    機能をアップグレードして、圧子とサンプルの位置合わせプロセスを容易にできます。
  • 画像取り込みソフト付属
  • 圧子とサンプルの位置合わせの再現精度:典型値< 5 µm

※真空中での使用に対応していないため、大気中でのEx-situアプリケーション(シンクロトロン ビームライン、バイオインデンター、エンクロージャなど) にのみ使用できます。

※一体型光学顕微鏡(IMI) は、圧子とサンプルのポジショニングが簡単にできるように設計されたコンパクトなオプションです。より高品質なイメージングには、標準の光学顕微鏡(OPT-MIC) をお勧めします。

液体セル LIQUID CELL (LIC)


液体セルの詳細はこちら 

グリッパーキット GRIPPER KIT FOR TENSILE TESTING (GKT)


特殊な引張り用グリッパーで、きのこ状の形状のピラー(FIBその他で加工) の引張試験を実行できます。
  • 標準グリッパー5本
  • グリッパーを圧子に取り付けるためのアダプター が付属しています。
  • グリッパーはシリコン製で、厚さ200 µm です。
  • ゲージ径2~5μm、マッシュルーム状の頭の径15μmまでのサンプルをつかむことができます。
  • サンプル内の応力偏差を 10% 未満に保ちながら、最大 1° および 0.5 µm のミスアライメントに対応できます。
  • リクエストに応じた形状の作成も可能です。

交換用グリッパー REPLACEMENT GRIPPERS (GTT)

標準品は5本セット
リクエストに応じた形状の作成も可能です。


  • 銅製スタブ 1 個
  • ステンレス鋼製メンブレン 3 個
  • ステンレス製ネジ 3 個:サンプル厚さ0.1~2 mmまたは2~4 mm用

クランプシステム(~400℃) CLAMP-RT: CLAMPING SYSTEM UP TO 400℃

室温から400℃で使用できるクランプです。

  • 銅製スタブ 1 個
  • ステンレス鋼製メンブレン 3 個
  • ステンレス製ネジ 3 個:サンプル厚さ0.1~2 mmまたは2~4 mm用
  • モリブデン製スタブ 1 個
  • モリブデン製メンブレン 3 個
  • モリブデン製ネジ 3 個:サンプル厚さ0.1~2 mmまたは2~4 mm用

ピエゾアクチュエータPIEZO ACTUATORS

変位ヘッドピエゾアクチュエータ(DHP)は、最大100µmまでの3つのレンジで使用できます。ユーザーは簡単に交換でき、双方向に、次のレンジから選択できます。

  • DHP-20:変位範囲 最大 20 µm*
  • DHP-40:変位範囲 最大40 µm* (ASAに標準装備)
  • DHP-100:変位範囲 最大 100 µm*

※圧縮・引張の両方向どちらでも、各レンジで使用可能
既存の変位ヘッド (DH) に後付けできます。

電気試験

通常、電気試験用には、ユーザー各自の構成をセットアップします。In-situの電気接触抵抗の一般的なセットアップには、導電性圧子(通常はタングステンカーバイド)とサンプルからのワイヤが含まれます。これらのワイヤは、フィードスルーフランジの追加のコネクタから、SEMチャンバー外に出します。このようなセットアップには、絶縁圧子ホルダー: Indenter Holder Insulating (IHI)をお勧めします。

スクラッチ試験ステージ



(SCO-AUX-PORTと、ECO-AUX-STS またはECO-AUX-PORTが必要)

  • クラッチ距離:最大 10 mm、速度:最大 10 mm/s、通常(垂直)および1軸の横方向の荷重測定。XまたはYのスクラッチ (試験をしたい方向に向けて取り付ける必要があります)
  • SEM内で使用する場合は、追加のフィードスルーを取り付ける必要があります。
  • このオプションは、標準の SmarAct ステージを使用します


(SCO-AUX-PORTと、ECO-AUX-STS または ECO-AUX-PORT が必要)

  • スクラッチ距離:最大 10 mm、速度:最大 1 mm/s、通常(垂直)および1軸の横方向の荷重測定。X または Y のスクラッチ (試験をしたい方向に向けて取り付ける必要があります)
  • SEM内で使用する場合は、追加のフィードスルーを取り付ける必要があります。
  • このオプションは、低振動モードの標準 SmarAct ステージを使用します。


(ECO-AUX-STSまたはECO-AUX-PORT搭載のECOが必要)

  • スクラッチ距離:最大40 µm、最大周波数5 Hz (往復)、高い変位分解能、通常(垂直)および 1 軸の横方向の荷重測定。X軸方向のみスクラッチ可能。
  • STS-20:最大変位範囲 20 µm (分解能 0.6 nm)
  • STS-40:最大変位範囲 40 µm (分解能 1.2 nm)
  • SEM内で使用する場合は、荷重センサーと変位センサー、および変位アクチュエーター用の追加のフィードスルーを取り付ける必要があります。
  • STS-HPは高ストレインレートモジュール(VHS-1-3、UHS-1-3、UHS-3-3)と一緒に使用して、短時間 (最大4秒) のスクラッチ テストを行うことができます。
accessory10.jpg

UHS-1-3オプションを搭載したASAの例

accessory11.jpg

横方向センサー (LFS)とSTS-HPオプションを搭載したASAの例。