製品特徴

• SEM/FIB内 定量的ナノメカニカル試験, 荷重センシング範囲 1nN ～ 200mN (8 order of magnitude), 変位センシング範囲 10pm ～ 21mm (9 order of magnitude), サンプルアライメント用 5-軸(X/ Y/ Z rotation tilt)クローズドループ制御ステージ, SEM/FIBで最大限の分解能を得られるワーキングディスタンスでの計測 (最小4mm)
  (同時にFIBによるミリングとデポジションも可能), 変位、荷重両方で制御可能な、幅広いナノメカニカル試験
  ― 圧縮、引張り、曲げ、せん断、繰返し、折れ等, 5軸全てにポジションエンコード※を有し、 大量サンプルのテスト、サンプルのプロパティマップのための自動試験が可能に
  (※rotation/tiltはオプション), 付属の電気試験モジュールで、ナノ構造体の、機械的/電気的同時試験が可能
  (サンプルホルダーには 6個の電極を装備), 電子線によるチャージを減少させる導電性の荷重感知プローブ, メカニカル試験、他のSEM分析(EDX、EBSD等) 、FIBによるデポジション・ミリングのコリレーションが可能, サンプルステージをつけたまま、SEM/FIB装置への簡単なセッティング、取り外しが可能, 独自のモジュールデザイン(4 種のセンサーヘッド、7種のサンプルベース) により、様々なサンプルや、SEM/FIB内のスペースに適応可能, ほとんどのフルサイズのSEM/FIB、光学顕微鏡にセッティング可能