電子顕微鏡用周辺機器

FemtoTools NMT-03

商品イメージ1 商品イメージ2 商品イメージ3 商品イメージ4 商品イメージ5
商品イメージ1
商品イメージ2
商品イメージ3
  • 電子顕微鏡,自動車,マテリアル,繊維・製紙,製薬・化学,航空・宇宙,電力・エネルギー,EV・バッテリー,材料・物性,ナノインデンテーション
メーカー名:FemtoTools
電子顕微鏡用周辺機器試験の自由度が高い5軸SEMインデンター

FemtoTools NMT-03

SEMに取り付け、マイクロ~ナノスケール領域で、圧縮、押込み、曲げ、引張り、引掻きなど、様々な機械特性試験とデータ取得を、リアルタイムで行えます。
5軸サンプルステージや各種プローブで、非常に高精度で多彩な、ナノ領域でのメカニカル試験が可能です。電気特性試験も行えます。

製品特徴

  • SEM/FIB内 定量的ナノメカニカル試験, 荷重センシング範囲 1nN ~ 200mN (8 order of magnitude), 変位センシング範囲 10pm ~ 21mm (9 order of magnitude), サンプルアライメント用 5-軸(X/ Y/ Z rotation tilt)クローズドループ制御ステージ, SEM/FIBで最大限の分解能を得られるワーキングディスタンスでの計測 (最小4mm)
    (同時にFIBによるミリングとデポジションも可能), 変位、荷重両方で制御可能な、幅広いナノメカニカル試験
    ― 圧縮、引張り、曲げ、せん断、繰返し、折れ等, 5軸全てにポジションエンコード※を有し、 大量サンプルのテスト、サンプルのプロパティマップのための自動試験が可能に
    (※rotation/tiltはオプション), 付属の電気試験モジュールで、ナノ構造体の、機械的/電気的同時試験が可能
    (サンプルホルダーには 6個の電極を装備), 電子線によるチャージを減少させる導電性の荷重感知プローブ, メカニカル試験、他のSEM分析(EDX、EBSD等) 、FIBによるデポジション・ミリングのコリレーションが可能, サンプルステージをつけたまま、SEM/FIB装置への簡単なセッティング、取り外しが可能, 独自のモジュールデザイン(4 種のセンサーヘッド、7種のサンプルベース) により、様々なサンプルや、SEM/FIB内のスペースに適応可能, ほとんどのフルサイズのSEM/FIB、光学顕微鏡にセッティング可能
製品特徴

マイクロスキャフォールドの圧縮試験

製品特徴

3D 金属製ナノピラーの面内方向ナノメカニカル試験

製品特徴

MEMS / NEMSの面内/外方向ナノメカニカル試験

製品仕様

荷重センシング
最大荷重: 200mN
荷重分解能: <1nN
計測周波数:最大96kHz
変位センシング
Coarse
計測範囲: 21mm
変位分解能: 1nm
計測レート:最大:50Hz
変位センシング
Fine
計測範囲: 25um
変位分解能: 0.05nm
計測レート:最大96kHz
5軸センサー サンプルアライメント
X, Y, Z クローズドループポジショニング
 (範囲:21 x 12 x 12mm 、分解能1nm)
クローズドループ ティルト・ローテーションステージ
 (各90度・360度、分解能35マイクロ度)
荷重感知ティップオプション
Flat punch (サイズ:50 x 50 um)
Tungsten tip (先端半径:<100nm, <2um)
Spherical tips (半径:250um or 50u)
Do-it-yourself カスタムオプション
本体サイズ
Length=100mm x Width=71mm x High=35mm

関連製品