西華デジタルイメージ > 製造機器 > 半導体関連製品 | 西華デジタルイメージ
半導体関連製品

半導体関連製品

半導体製造時における、フォトルミネッセンス法を応用した半導体の結晶欠陥の可視化評価装置、超高解像度、深いDOFを実現したラインカメラによる低コントラスト微小欠陥の可視化装置、テラヘルツ分光測定に新たな技術を付与することでウエハの電気特性の非破壊・非接触検査を実現した基板検査装置など半導体関連製品を取り扱っております。

フォトルミネッセンス法による半導体検査装置

フォトルミネッセンス法とは

フォトルミネッセンス雨法

フォトルミネッセンス法 ( PhotoLuminescence )とは 半導体に光やレーザーなどの電磁波を照射した際に、半導体が光子を吸収した後に再発光する現象を観察する手法です。
高解像度にフォトルミネッセンス画像(PL画像)を取得するのみならず、スペクトルも同時にすることができるため、半導体ウエハの結晶欠陥の位置を確認することも可能な画期的な検査手法を提供いたします。



製品ラインナップ

モノクロPL画像の他、カラーPL画像、検査ライン組み込みモデルの他スペクトルの同時測定が可能なモデルなど、ニーズに合わせたラインナップがございます。

1μm以下の高分解能でフォトルミネッセンス画像を取得します。全面測定を実施するタイリング機能を備え、その場合は30億画素を超えるPL画像を取得することが可能。紫外線から赤外領域までの全領域キャプチャ可能なセンサを備えております。

PLイメージング半導体評価装置

PLイメージング評価装置の高感度黒白センサを、色再現性に優れたカラーカメラに換装したモデルです。積層欠陥の違いはPL波長の違いとして表れるため、結晶構造の違いを可視化できます。

カラーPLイメージング半導体評価装置

高感度黒白センサを用いた量産工程の評価装置です。測定用センサを複数台搭載することで高速化を実現しています。分割センシング、高速読み出し用のセンサ、駆動ステージ、専用ソフトなど最適化されています。

PLイメージング量産工程用高速検査装置

PLイメージング機能のみならず、スペクトル測定機能が追加された高機能型検査装置です。PLイメージング機能と組み合わせて結晶欠陥の位置を確認することが可能です。

スペクトル測定PLイメージング検査装置

解析ソフトウエア

結晶欠陥解析ソフトウエア

取得したPL画像を基に、画像解析を高速に行い結晶欠陥を自動検出するソフトです。PL画像取得用のコンピュータから直接データを受信可能であり、画像取得と画像解析を並行して行うことができます。測定終了後には自動検出結果を閲覧できるため、業務効率の効率化に多大な効果を発揮します。

  • 結晶欠陥の自動検出
  • 結晶欠陥の種類を抽出、表示
  • 欠陥箇所の座標表示
  • 各種欠陥のリスト表示

測定事例

システム構成品

テラヘルツ分光装置による半導体検査装置

テラヘルツ分光装置とは

テラヘルツ分光

テラヘルツ分光装置とは周波数1THz、波長300µm前後の電磁波帯域を利用した新しい分光装置です。この帯域は長らく使用されることがありませんでした。
電場強度と、位相情報との両方を同時に計測し、リファレンスとサンプルの時間波形の違いを解析し、サンプルの複素誘電率(複素屈折率)の周波数依存性を取得可能です。


製品ラインナップ

解析ソフトウエア

結晶欠陥解析ソフトウエア
THz Analysisを装備した分光データの解析ソフトウエアです。以下の項目を解析可能です。
  • 透過/反射スペクトル
  • 複素屈折率
  • 複素誘電率

測定事例

関連製品のご紹介