電子顕微鏡用周辺機器

FT-NMT04-XYZシリーズ

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  • 電子顕微鏡,自動車,マテリアル,繊維・製紙,製薬・化学,航空・宇宙,電力・エネルギー,EV・バッテリー,材料・物性,ナノインデンテーション
メーカー名:FemtoTools
電子顕微鏡用周辺機器高解像度、低ノイズの複数軸SEM / FIBナノインデンター

FT-NMT04-XYZシリーズ

SEM/FIBに取り付け、マイクロ~ナノスケール領域で、圧縮、押込み、曲げ、引張り、引掻きなど、様々な機械特性試験とデータ取得をリアルタイムで行えます。複数軸サンプルステージや各種プローブ、加熱計測、電気特性試験等にて、非常に高精度で多彩なナノ領域でのメカニカル試験が真の変位制御にて可能です。

製品特徴

  • 力検知範囲:+/- 200 mN,強制ノイズフロア(10 Hz):500 pN,変位範囲:25 μm,変位ノイズフロア(10 Hz):50 pm,連続剛性測定,500 Hzまでの疲労試験,3軸センサー サンプルアライメント,サンプル回転ノイズフロア(10Hz):35 μ°,サイズ:170 x 72 x 44 mm
製品特徴
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アプリケーション

  • マイクロピラー圧縮,マイクロカンチレバー破壊試験,疲労試験,ナノインデンテーション,マイクロ引張試験,連続ナノインデンテーションと高解像度SEMイメージング,連続ナノインデンテーションとEBSDマッピング

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