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FemtoTools FT-NMT04-XYZ

SEM/FIBに取り付け、マイクロ～ナノスケール領域で、圧縮、押込み、曲げ、引張り、引掻きなど、様々な機械特性試験とデータ取得をリアルタイムで行えます。複数軸サンプルステージや各種プローブ、加熱計測、電気特性試験等にて、非常に高精度で多彩なナノ領域でのメカニカル試験が真の変位制御にて可能です。