左側：押込み / 圧縮試験
右側：引掻き / 引張り試験

■ソフトウェア

カスタマイズ可能な、ナノインデンター制御用ソフトウェアAMICS-SCO/ AMICS-ECO：XYZマイクロポジショニング、試験設定、試験実行、結果保存（TDMSバイナリファイル）など。 荷重、変位、および事前設定したひずみ速度プロファイルの完全な制御も可能です。
ユーザーは、インデント、圧縮、張力、その他の実験に関する試験パラメーターを選択できます。

※オプション：ナノインデンターを他の機器（シンクロトロン、原子力ホットセルなど）に完全に統合するためのリモートコントロール（AMICS-ECO、イーサネットバス経由）

■アクチュエータ・センサーモデル

圧子のアクチュエータ、センサーは、高ひずみ速度試験、横方向荷重等の必要に応じて、適したモデルを選択できます。

■高温モジュール（HTM-1000）　※オプション

標準モデルに高温試験用モジュールを後付けし、高温状態での力学試験を行うことも可能です。
大気中では200度まで、それよりも高い温度では、真空中で試験をする必要があります（SEM内など）。
このモジュールは、圧子の加熱とサンプルの加熱機構が独立した構成になっています。

＜高温モジュール（HTM-1000）構成＞
・サンプルホルダー：最高1000℃（真空中）の加熱機能があります。
・圧子ホルダー：最高1000℃（真空中）の加熱機能があります。
・3つの温度センサー（分解能<0.1℃）
・冷却ブレード、プレート、チューブ （パイプのフィードスルーを含む）
・冷却水の循環機構とチラー
・電装系、加熱電源・コントローラ、ケーブル・コネクタ類
・SEMフィードスルー（電源・温度センサー用。インデンター本体には、別にフィードスルーが必要です。）
・高温制御用ソフトウェア（サンプル用/圧子用に独立した2つの温度制御ループ）

■低温モジュール（LTM-CRYO）　※オプション

標準モデルに低温試験用モジュールを後付けし、低温状態での力学試験を行うことも可能です。
大気中でも使用可能ですが、サンプル表面に結露が発生する可能性があるため、真空中（SEM内など）での試験を推奨しています。
このモジュールは、圧子の冷却とサンプルの冷却機構が独立した構成になっています。

＜低温モジュール（LTM-CRYO）構成＞
・サンプルホルダー：最低120K（-150℃、真空中）の冷却機能があります。
・圧子ホルダー：最低120K（-150℃、真空中）の冷却機能があります。
・3つの温度センサー（分解能<0.1℃）
・冷却ブレード、プレート、チューブ （パイプのフィードスルーを含む）
・銅製冷却ブロック（液体窒素用）
・電気系統、冷却コントローラ、ケーブル・コネクタ類
・SEMフィードスルー（電源・温度センサー用。インデンター本体には別にフィードスルーが必要です。）
・低温制御用ソフトウェア（サンプル用/圧子用に独立した2つの温度制御ループ）

STS-HP搭載例

■スクラッチ試験ステージ　※オプション

スクラッチ試験用ステージを追加することで、横方向への、スクラッチ試験が可能になります。
スクラッチ速度や計測分解能により、3つのパッケージからお選びいただけます。

（i）SPA-LR1：スクラッチパッケージ ロングレンジモデル1（SCO-AUX-PORT、ECO-AUX-STSまたはECO-AUX-PORTが必要）
　　　SPA-LR1は、ラテラルフォースセンサー（LFS）+ AMICS-Scratch（マイクロポジショニングステージによるスクラッチ）で構成されています。
　　　スクラッチの距離:最大10 mm、速度:最大10 mm / s、垂直方向および1軸の横方向の荷重測定。
　　　X軸またはY軸のスクラッチ（LFSは測定したい方向に向けて装着する必要があります）
　　　※：LSF用の追加のフィードスルーが必要です。
　　　※：このオプションは標準のSmarActステージを使用します


（ii）SPA-LR2：スクラッチパッケージ ロングレンジモデル2（SCO-AUX-PORT、ECO-AUX-STSまたはECO-AUX-PORTが必要）
　　　SPA-LR2は、ラテラルフォースセンサー（LFS）+ AMICS-Scratch（位置決めステージと低振動モードで強化されたスクラッチ性能）で構成されています。
　　　スクラッチ距離:最大10 mm、速度:最大1 mm / s、垂直方向および1軸の横方向の荷重測定。
　　　 X軸またはY軸のスクラッチ（LFSは測定したい方向に向けて装着する必要があります）
　　　※：LSF用の追加のフィードスルーが必要です。
　　　※：このオプションは、低振動モードの標準SmarActステージを使用します


（iii）STS-HP：スクラッチパッケージ 高精度モデル（ECO-AUX-STSまたはECO-AUX-PORTでのECOが必要です）
　　　STS-HPは、横力センサー（LFS）+ AMICS-スクラッチ+スクラッチテストステージ（STS）と外部HVアンプで構成されています。
　　　スクラッチ距離:最大40 µm、最大周波数5 Hz（往復）、高変位分解能、垂直方向および1軸の横方向荷重測定。X軸方向のみのスクラッチ。
　　　スクラッチテストステージ（STS）は、次の2つのレンジから選択可能です。

　　　STS-20：最大変位:20 µm（分解能0.6 nm）
　　　STS-40：最大変位40 µm（分解能1.2 nm）

　　　※：荷重と変位センサー用、また、変位アクチュエータ用の追加のフィードスルーが必要です。
　　　※：高ひずみ速度用モデル（VHS-1-3、UHS-1-3、UHS-3-3）と併用して、短時間（最大4秒）の高速スクラッチテストも可能です。
　　　※：スクラッチ試験専用のステージです。