電子顕微鏡用周辺機器

Alemnis-SEM-Indenter

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  • 電子顕微鏡,自動車,マテリアル,繊維・製紙,製薬・化学,航空・宇宙,電力・エネルギー,EV・バッテリー,材料・物性,ナノインデンテーション
メーカー名:Alemnis
電子顕微鏡用周辺機器ダイナミック、加熱試験が可能な3軸SEM用ナノインデンター

Alemnis-SEM-Indenter

SEMに取り付け、マイクロ~ナノスケール領域で、圧縮、押込み、曲げ、引張り、引掻きなど、様々な機械特性試験とデータ取得を、リアルタイムで行えます。
高精度で、安定した変位/荷重制御が可能で、かつ最大荷重1.5Nのダイナミックな試験にも対応します。各モジュールを後付け可能です。

製品特徴

  • Alemnis 社SEM ナノインデンターは、SEM 等に取り付け、In-situ(その場観察)でマイクロ~ナノ領域の力学的試験が可能です。,押込み、圧縮、引張り、曲げ、引掻き、振動等の試験を正確で安定した変位・荷重制御で行い、リアルタイムで力学特データも取得できます。,シリコン・石英ガラス・Ni合金などの新素材や、深掘りエッチング(DRIE)、LIGA、レーザー加工などの製造プロセスでの基礎研究、産業用途でも活用されています。,SEM以外にも、光学顕微鏡、シンクロトロンビームなどでも使用可能です。
製品特徴

押込み / 圧縮試験

製品特徴

引掻き / 引張り試験

製品仕様

荷重センシング
最大荷重: 0.5N (オプション1.5N)
RMS Noise: 4uN @200Hz
Axial compliance: 4.7um/N
変位センシング
最大変位: 35um
変位分解能:+/-1.8 nm
サンプルステージ
稼動範囲: 22mm
稼動分解能: 2nm
本代重量
約500g

製品動画

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